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蝕刻 - 解釋頁

... 的部分從晶圓上除去，蝕刻製程的功能，就是要將進行微影製程前所沈積的薄膜，把 ... 經由溶液與被蝕刻物間的化學反應，來移除薄膜表面的原子，以達到蝕刻的目的。

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