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薄膜製程目的
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半導體& ETCH 知識,你能答對幾個? - 吳俊逸的數位歷程檔
答:將形成在晶圓表面上的薄膜全部,或特定處所去除至必要厚度的製程。 ... 蝕刻對象依薄膜種類可分為: ... 日常測機量測etch rate之目的何在?
確定!
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