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薄膜製程目的
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TWI512139B - 薄膜製程設備及其製作流程 - Google Patents
為了解決上述問題,本發明之一主要目的是於薄膜製程設備中,設計一種新的供氣結構,使得不同氣體出氣後,能混合更均勻,俾利於增加氣體混合暨反應效果,使得生成薄膜 ...
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