奈米材料的薄膜製程和半導體製程相似,分固態、液態和氣態,如表 10.4 表列。表 10.4 奈米材料薄膜製程固態液態氣態 1.粒子沉積 1.旋轉塗佈 1.化學氣相沉積( CVD ) 1.
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