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薄膜製程半導體
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半導體薄膜製程
矽烷和PE-TEOS 薄膜. ... 似型性。 矽的優點:a.原料便宜b.耐高溫c.表面易形成絕緣的二氧化矽•矽為現今主要的半導體材料!課本P.268回目次13-1半導體製程 ...
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