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薄膜製程半導體
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薄膜沉積技術- PPT - SlideServe
半導體製程 中所稱的薄膜,是指厚度在1 μ m 以下的膜。例如層間絕緣膜或是電極金屬等。 ◇ 薄膜沉積技術是由外界提供材料來累積在矽基板上的技術。 ◇.
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