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薄膜製程半導體
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半導體薄膜製程
三空泉; 摘要. 於其製程溫度較低,耐高溫,與二氧化矽界面特性佳,可靠度好,而且能均勻覆蓋不平坦的結構。 另一方面,更低溫複晶矽薄膜製程,則是用 ...
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