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薄膜製程半導體
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全球首創關鍵薄膜智慧製程系統助台灣半導體產業數位轉型
半導體 關鍵製程設備中的薄膜製程,是晶圓加工基礎,鍍膜時須考慮壓力、流量、溫度等多項參數,靠人工調整找到最佳參數,曠日廢時,工研院為解決此 ...
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