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薄膜製程半導體
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半導體薄膜製程之殘餘應力研究__臺灣博碩士論文知識加值系統
在半導體工業日新月異的進步下,固態薄膜已成為不可或缺的基本元件之一,尤其在不斷要求元件微型化的今日。在這趨勢下,利用傳統的巨觀塊體的觀念來探討薄膜的應力問題 ...
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