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薄膜製程半導體
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《科技與創新》先進半導體薄膜設備智慧製程技術 - 自由財經
製程 參數就像食譜配方,不同參數組合,都會影響良率。半導體電子元件動輒上千道製程中,複雜反應有如黑盒子,只靠人工調整找到最佳參數,曠日廢時。
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