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薄膜製程半導體
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半導體製程(二) | 晶圓加工| 蔥寶說說讓台積電叱吒風雲的功夫
鋪字訣的目的是在晶圓上鋪上一層薄膜。依照不同用途,這層薄膜可以是二氧化矽、氮化矽、多晶矽等絕緣體,也可以是金屬。下面舉例幾個常用的製程。 ... 把晶圓放入烤爐,並通 ...
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