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國立中山大學098學年度第1學期薄膜製程技術課程大綱

薄膜 磊晶技術－材料匹配、應力層超晶格、低溫磊晶薄膜結構、薄膜間的反應、相互擴散、電遷移現象. 課程目標Objectives. 本課程介紹目前學術研究和工業量產常用的薄膜製程 ...

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