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薄膜技術與薄膜材料
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蒸鍍系統原理
達到熔化溫度,使之熔解然後氣化,此時氣態之薄膜材料之原子或. 分子因同時具有加溫後的動能,而飛向基座,到達並附著在基板表. 面上的一種鍍膜技術。
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