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薄膜材料與薄膜技術

本書系統闡述了薄膜材料與薄膜技術的基本原理和基本知識，重點介紹了薄膜材料的真空制備技術、薄膜的化學制備和物理氣相沉積方法、薄膜的形成和生長原理、薄膜的表征，對 ...

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