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薄膜材料与薄膜技术- 郑伟涛

本书介绍了薄膜材料与薄膜技术的基本理论与知识,重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理,对目前广泛研究和应用的 ...

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