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薄膜材料與薄膜技術

本書系統闡述了薄膜材料與薄膜技術的基本理論和基本知識,重點介紹了薄膜材料的真空製備技術、薄膜的化學和物理沉積方法、薄膜的形成和生長原理、薄膜的表征、對目前廣泛 ...

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