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薄膜技術與薄膜材料
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《薄膜技术与薄膜材料》 田民波等9787302274834 【清华 ...
薄膜 及微细加工技术的应用范围极为广泛,从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光LED固体照明、太阳能电池到材料的表面改性 ...
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