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薄膜技術半導體
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半導體薄膜製程'3B07AVM'
課本P.273.沈積在矽晶片表面上的一種薄膜沈積技術。 鋪字訣的目的是在晶圓上鋪上一層薄膜。 ,-TEOS). 的氧化物製程被廣泛地 ...
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