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薄膜技術半導體
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光能元件與薄膜實驗室 - 逢甲大學-材料科學與工程學系
本實驗室研究發展重心在微電子等半導體薄膜技術開發及相關專業人才培育。主要研究領域計有:(1)奈米積體電路銅金屬化製程、(2)功能性半導體金屬氧化物薄膜、(3) ...
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