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半导体薄膜技术与物理- 叶志镇 - Google Books

本书介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础.全书共分十章.第一章概述了真空技术,第二至第八章分别介绍了蒸发,溅射,化学气相沉积,脉冲激光沉积,分子束外延, ...

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