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《半导体薄膜技术与物理（第2版）》 - 324.0新台幣- 叶志镇

第一章概述了真空技术，第二至第八章分别介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延、湿化学合成等各种半导体薄膜的沉积技术，第九章介绍了 ...

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