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壓力感測器之模擬分析與元件設計 - 心得報告

此壓力計的結構是利用SOI（Silicon On Insulator）的晶片，以晶片中的氧化矽（SiO2）層當作蝕刻停止層，在晶片上的元件層（device layer）整合壓電材料。此壓力感測器， ...

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