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阿斯麦EUV光刻机关键部件的唯一供应商：落户中国！-快科技

为此，ASML与德国光学公司蔡司（Zeiss）合作，由该公司来生产世界上最平坦的镜面，以使得EUV光线经过多次反射后能够精准的投射到晶圆上。

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