水蒸氣來源. – 氣泡式. – 沖洗式 ... 反應室. • 高純度的石英. 在高溫下十分穩定. – 在高溫下十分穩定. – 基本的清潔度 ... 爐管及反應室；晶圓裝載系統和排放系統所組.
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