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台积电也得靠它，关键莱利公式扮演半导体制程微缩重要基础

ASML指出，莱利公式为CD=k1 x ( λ / NA)，描述了重要参数间的对应关系，CD（Critical Dimension）中文译作关键尺寸或临界尺寸，而k1为变因，λ则是曝光 ...

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