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台積電也得靠它，關鍵萊利公式扮演半導體製程微縮重要基礎

ASML指出，萊利公式為CD=k1 x ( λ / NA)，描述了重要參數間的對應關係，CD（Critical Dimension）中文譯作關鍵尺寸或臨界尺寸，而k1為變因，λ則是曝光機所用的光源 ...

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