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[12]实用新型专利说明书

的菲林片,利用现有的菲林印刷技术,将一种芯片. 产品的几道光刻掩模版图形设计制作在一张与晶片. 大小尺寸相当,厚度为0.2mm-2mm 的菲林片上,.

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