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Cleanroom Classification Standards（無塵室分類的標準）

空氣的潔淨度（cleanliness）區分等級. ○聯邦標準209（A至D）之定義是每立方英呎. 的空氣中所含有≧0.5μm的微塵粒子數。 ○聯邦標準209（E版本）用公制的命名法。

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