花崗石結構,XY軸線性馬達趨動設計,Y軸平台採用多孔質陶瓷真空吸盤設計可吸取不同樣式工件與檢測物,搭配光學尺定位精度可達0.0005mm,Z軸可依客戶需求型式設計(CCD鏡頭或 ...
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