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具自動對焦之三維形貌及膜厚量測模組之研製

摘要. 本研究主要結合二維光學顯微鏡及彩色共焦技術，利用白光軸向色散原理，發展具顯微影像檢視功能. 之快速、高解析及高縱向量測範圍之量測模組。

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