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SiC晶圓製造究竟難在哪？ - 電子工程專輯

SiC元件成本高的一大原因就是SiC基板製造困難。 ... 意法半導體表示，首批200mm SiC晶圓品質上乘，影響晶片良率、晶體位元錯的缺陷非常少。

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