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閃光燈熱退火機台保養作業產生異味之研究 - 國家圖書館

然而許多製程中產生的製程廢氣並未被探討。 ... 氣體偵測器獲得驗證，確認閃光燈熱退火後除氣產生物質為磷化氫(PH3)，來源是機臺內壁上殘留的磷與無塵 ...

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