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懸浮式閘極場效應電晶體應用於梳狀致動器之位移感測

論文名稱(中文):, 懸浮式閘極場效應電晶體應用於梳狀致動器之位移感測. 論文名稱(外文):, Displacement Sensing for Comb-Drive ... 語文別: 英文. 論文頁數: 72.

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