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微機構的元件型式與運動特性

一般的靜電致動器主要是利用靜. 電力的吸引，使動件產生輸出位移，. 根據靜電力產生的原理，可將靜電致. 動器的致動方式區分為兩種，分別是. 間距近接式(gap closing)，和 ...

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