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壓電致動裝置 - 智財技轉處

在狹小空間達到數微米行程、奈米級解析度致動之應用：微機電量測平台。 此項發明的優點：. 一般原子力顯微鏡系統(AFM)使用高壓（電壓-30～150V驅動）壓電致動器或壓電 ...

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