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新型平面熱電式致動器之設計與開發

關鍵字: thermal actuators;雙向式;H-beam;optical switch;熱電式致動器;光切換器. 出版社: 精密工程研究所. 摘要: 微機電元件的設計包含微致動器(microactuators)、微 ...

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