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致動器原理
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其驅動電壓只需2V即可驅動,可大幅降低熱致動器的驅動電壓,以節省能量,並初步證明下電極式微幫浦具有 ... 4 圖1-6雙金屬熱驅動之微致動器:(a)原理圖;(b)實際元件。
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