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微型感測器與致動器之設計與應用陳皓楨、李佳言

微機電領域以微感測器與微致動器為兩大主流，本研究以微感測器與微致動器作一深入 ... 胺(polyimide)之高分子材料當作感測元件涂布在懸臂上，其感測原理是披覆在感測 ...

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