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三軸式微加速度器模態系統設計

藉由適當的電極配置，可將不需要. 的訊號相互抵消，以選擇性的量測出三方向軸的加速. 度。本文利用能量法-卡氏第二定律分別推導出三軸. 向振動模態的自然頻率與結構敏感度 ...

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