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ALD,原子層沉積技術及應用 - 大永真空設備

磊晶(Epitaxy)的意思為：在單晶(Single crystal)的基板上成長一層單晶的薄膜。 ... 第一種前驅物進料(Pulse)導入腔體，前驅物在基材表面產生單一原子層的化學吸附，使 ...

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