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FE-SEM 操作手冊 - 明志科技大學-材料工程系

代表腔體已達真空狀態。 (3) EXCH POSN 指示燈亮時，表示試片交換平台位置歸零。 (4) HLDR 指示燈亮，表示試片交換平台位置已在FE-SEM 主腔體(Specimen chamber)中。

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