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高功率脈衝磁控濺鍍系統(High Power Impulse Magnetron ...

將直流電源供應器的電能累積至充電電壓可達數百、數千伏特的脈衝模組電容中，再以電晶體控制放電的脈衝時間、脈衝頻率，以產生高密度電漿。 HIPIMS-1. 上 ...

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