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脈衝雷射原理
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PLD - 脈衝雷射沉積製程利用高功率脈衝雷射光 - Wix.com
脈衝雷射 沉積製程利用高功率脈衝雷射光,經聚焦後入射至腔體內轟擊靶材表面,使其因吸收高能量快速蒸發形成一團具有高動能的電漿氣體,沉積至待鍍的基板上形成薄膜, ...
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