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結合雷射多脈衝與光束整形技術實現矽基材料之高深寬比微鑽孔

採用不同雷射功率、脈衝重複頻率及脈衝作用時間等變數進行鑽孔來分析不同加工參數條件下鑽孔後深寬比R 值與錐度之影響。鑽孔後之孔徑形貌以三維共焦顯微鏡與場發射掃描 ...

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