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掃描式電子顯微鏡 - 光電與積體電路故障分析中心

在試片的側上方裝有偵測器，用以擷取二次電子(Secondary Electron)或背向散射電子(Backscattered Electron)，從而獲得樣品信息來成像，它能產生樣品表面的高解析度圖 ...

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