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掃描式電子顯微鏡

於SEM上，附加一組能量分散分析儀(EDS)，更可依物體表面在電子撞擊後所釋出之X射線而分析樣品中化學成份種類與含量。也附加一組電子背向散射系統（EBSD），可以分析晶粒 ...

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