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SEM的微觀世界 - gsmat10106

背向散射電子 則為電子束與試片作用，發生彈性散射，其能量等於入射電子束能量，或因傳遞損失略小於入射電子束能量。此背向散射電子帶有元素成分的訊息，試片原子序越高，背 ...

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