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掃描式電子顯微鏡

也附加一組電子背向散射系統（EBSD），可以分析晶粒取向、晶界角度及顯微結構。 儀器設備說明 ... EDS 可測元素範為原子序11以上。 ‧ EBSD 空間分辨率為0.5μm.

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