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扫描电子显微镜（Scanning Electronic Microscopy, SEM）

背反射电子的产生范围在100nm-1mm深度，如下图所示。 电子束在试样中的散射示意图. 背反射电子产额和二次电子产额与原子序束的关系背反射电子束成像分辨率一般 ...

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