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晶片層層Delayer卻仍找不到異常點就靠SEM BSE偵測 - iST宜特

通常原子序越大的元素，反彈之背向散射電子越多，因此，我們可以觀察到，SEM影像上越亮的區域，即原子序越大的材質。 SEM SE BSE影像. 圖三：左圖為SE ...

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